Technology
产品技术
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邮箱：sales@whnite.com技术参数
- ●真空曲线：抽速自动可调可控，具备自动多段稳压抽速
- ●压力控制：（10Pa~100kPa压力范围内：稳压精度＜±5%）
- ●温度控制：-10~80℃，均匀性＜±1.5℃
- ●基板尺寸：460x730mm,730x920mm
- ●抽真空速率：10Pa＜30s
- ●真空底压：＜1x10-4 pa
装备技术优势
- 腔体：采用加强加厚SUS材质，结合力学仿真优化了整体结构，腔体整体强度高，刚性好，放气率低。 超净设备：洁净度优于ISO3级，满足显示面板严苛洁净要求。
- 具备基板位置高度可设，工艺温度可调，抽速可调，压力可控可做多段抽速曲线工艺，适合不同材料不同 工艺生产需求，具备针对高沸点溶剂去除特殊设计。
- 采用特殊匀流气场结构设计，结合流场仿真优化迭代，抽气均匀，成膜均匀性优，膜形质量好。
